氧化鋯氧量分析儀在使用（1500～2000）小時以后，需要對其準確度進行檢查。方法是按正常使用時的操作程序接入氧標準氣,觀察其指示的讀數和標準氣含量的差值，若大于儀器的規定誤差，就需要進行校準。同時對儀器氣路的氣密性也要進行檢查。另外，由于鋯管長期在高溫的環境下工作，容易使鋯管性能破壞,出現鋯管內阻增大,誤差變大,并反應遲鈍。因此，在儀器使用一年后要檢查鋯管的老化程度。方法是先把儀器升溫穩定,通入5分鐘空氣后關閉流量計調節閥，用電阻計測量鋯管電極的熱電阻，如果電阻大于（80～100）Ω,說明鋯管已經老化,必須進行更換。
在實際工作中,儀器會出現各類故障,根據故障現象,我們分析出引起儀器故障的原因及排除方法,特例表1所示。
序列 故障現象 可能的原因 排除措施
1)儀器指示偏高 1． 管線漏氣;2． 爐溫過低;3． 量程電勢低;4． 流量偏小;5． 鋯管漏氣;6． 儀器老化更換密封墊或旋緊壓帽;提高爐溫;調整電勢;換氧化鋯管
2)儀器指示偏低 1． 爐溫過高;2． 流量偏大;3． 氣樣中可燃氣體太多;4． 量程電勢偏高 降低爐溫;調節流量;加凈化器;校正量程電勢
3)儀器無指示無工作 1． 無電源;2． 電源插頭接觸不良;3． 保險絲松動或已斷查電源線;換電源插頭;換保險絲
4)有電源但加熱路不工作 1． 3A保險絲斷;2． 電爐絲斷;3． 固體繼電器壞;4． 溫控繼電器壞;5． 熱電偶壞換保險絲;換電爐絲;換故態繼電器;檢查溫控電路;檢查熱電偶
5)有電源但無指示 1． 顯示板與主機板的連接插頭接觸不良;2． 沒有＋5V電源換連線或插頭;排除電源故障
6)顯示系統錯誤 1． A/D轉換電路故障;2． 熱電偶壞;3． 集成塊2817A數據混亂查出損壞器件并更換;更換熱電偶;重寫數據
7)顯示接線錯誤 1. 熱電偶接反（溫度不正常）;2. 氧化鋯信號接反檢查極性,將信號線連接正確
8)顯示雜亂 1． 程序片損壞;2． 程序片工作不正常 更換2764程序片;重新開關儀器
